Resolution : 15nm
Magnification : 60,000x
Multi Detector : SE / BSE
Ce microscope électronique à balayage (MEB / SEM) d'entrée de gamme tenant sur un bureau et procurant une résolution de 15nm et un grossissement de x 60.000, peut être utilisé à des fins contrôle qualité, de R&D ou pour l'éducation. Il est équipé de divers détecteurs générant des images relatives à la topographie de l'échantillon (SE / électrons secondaires) et à sa composition (BSE / électrons rétrodiffusés).
| Résolution | 15nm (30kV, SE Image), 20nm (30kV, BSE Image) |
|---|---|
| Grossissement | 20x~60,000x |
| Tension d'accélération | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) |
| Détecteur | (SE) Electrons secondaires - (BSE) Electrons rétrodiffusés |
| Canon à électrons | Cartouche à filament tungstène pré-centré |
| Manipulateur | 3-axes (X, Y, R, Z, T - Manuel) - Axes X, Y : 35mm / R : 360°- Image Shift : ±150μm - Camera CCD installée dans la chambre - Axe T : 0 à 45˚ (Option) |
| Taille d'échantillon | 70mm de diamètre x 30mm de hauteur |
| Fonctions auto | Auto Start, Auto Focus, Auto Stigmator, Auto Contrast & Brightness |
| Formats d'image | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| Mode de vide | High & Low Vacuum |
| Pompe à vide | Pompe rotative / Pompe turbo- moléculaire (gestion automatique) |
| Unité principale | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg |
| Contrôleur | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg |
| Pompe à vide | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
Porte-échantillon : X,Y,R (3-axes) / Beam Shift:150μm
Auto Setting : Focus, Contraste, Brightness
Dual View Mode : SE/BSE Multi Display
Orientation facile de l'échantillon grâce au porte-échantillon mobile sur 3 axes piloté par souris. Le système est capable de générer et capturer simultanément des images SE/BSE en mode Dual View.
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